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鸟嘴 （词汇 | 石材）
鸟嘴:鸟的嘴巴，称之为'喙'(hui)。人们常用"鸟嘴"这一词来形容喜欢乱说乱讲
光粒网 （整合半导体激光信息的行业网站）
光粒网是由武汉光粒网络科技有限公司所创办的整合半导体激光信息的行业网站。光粒网专
软烤 （半导体相关）
软烤(Softbake):其使用时机是在上完光阻后，主要目的是为了将光阻中的溶剂
预烤 （半导体相关）
预烤(Hardbake):又称为蚀刻前烘烤(pre-etchbake)，主要目的
密化 （半导体相关）
Densify密化CVD沈积后由于所沈积的薄膜(ThinFilm)的密度很低，故
施体 （半导体相关）
Donor施体我们将使原本本征的半导体产生多余电子的杂质，称为施体。如掺入p的情
驱入 （半导体相关）
DriveIn驱入离子植入(ionimplantation)虽然能较精确地选择杂
磊晶 （半导体相关）
Epitaxy磊晶外延附生：一种矿物的结晶附于另一矿物结晶表面的生长，这样两种矿
蒸镀 （半导体相关）
蒸镀将我们的蒸镀源放在坩埚里加热，当温度升高到接近蒸镀源的熔点附近。这时，原本处
光罩 （半导体相关）
Mask光罩在微影的阶段中，必要的线路或MOS电晶体的部分结构，将被印制在一片玻
闸极 （半导体相关）
闸极
N井 （半导体相关）
在半导体行业里，一般在P-Sub上植入P以形成N-well,以便为后期形成PMO
旋干 （半导体相关）
通过高速旋转产生的离心力把硅片表面水滴驱除
底材 （半导体相关）
一般而言半导体中提及的Substrate就是指Wafer
辅抽泵 （半导体相关）
BackingPump辅抽泵在高真空系统中，要想很快建立我们所需的高真空，单纯靠
阻障层 （半导体相关）
BarrierLayer阻障层为了防止铝合金与硅的的接触界面发生尖峰（spiki
真空室 （半导体相关）
Chamber真空室，反应室专指一密闭的空间，而有特殊的用途、诸如抽真空，气体反
空乏型 （半导体相关）
空乏型DepletionMOS操作性质与增强型MOS相反，它的通道不须要任何闸极
掺杂源 （半导体相关）
掺杂源我们将通过扩散的方法进行掺杂的物资叫掺杂源，例如将Poly里掺入P的POC
电崩溃 （半导体相关）
当NMOS的沟道缩短，沟道接近汲极地区的载子将倍增，这些因载子倍增所产生的电子，
传送室 （半导体相关）
传送室用来隔绝反应室与外界大气直接接触，以确保反应室内的洁净，降低反应室受污染的
自对准 （半导体相关）
自对准（Self-Aligned）硅化钛就是在硅表面溅镀钛，再对硅片进行高温处理
间隙壁 （半导体相关）
Spacer间隙壁隔离闸极与其它两个MOS电极，利用它与闸极所形成的结构，来进行
铁氟隆 （半导体相关）
Teflon铁氟隆聚四氟乙烯，一种耐酸耐腐蚀耐高温的材料，我们使用的某些cass
洁净室 （半导体相关）
又称无尘室。半导体加工的环境是高净化空间，恒温恒湿，对微粒要求非常高。常用cla
刷洗机 （半导体相关）
1.在沉积或蚀刻制程之后常会有些微尘落在芯片表面，此种P/D可刷洗去除，避免对良
硅晶圆 （半导体相关）
硅晶圆材料（Wafer）是半导体晶圆厂（Fab）内用来生产硅芯片的材料，依面积大
电荷陷入 （半导体相关）
无特定分布位置，主要是因为MOS操作时产生的电子或电洞被氧化层内的杂质或不饱和键
缺点密度 （半导体相关）
DefectDensity缺点密度'缺点密度'系指芯片单位面积上(如每平方公分，
扩散式泵 （半导体相关）
扩散式泵通过加热油，油气蒸发高速喷射出去，带出气体分子，达到抽气的目的。它可以达
干式氧化 （半导体相关）
DryOxidation干式氧化在通入的气体中只有氧气与载气，只有氧气与底材发生
静电破坏 （半导体相关）
自然界的物质均由原子组成，而原子又由质子、中子及电子组成，在平常状态下，物质呈中
法拉第杯 （半导体相关）
法拉第杯（FaradayCup），是离子植入机中在植入前用来测量离子束电流的装置
四点测针 （半导体相关）
四点测针（FourPointProbe）是量测芯片片阻值(SheetResist
离子植入 （半导体相关）
Implant离子植入离子注入：将具有很高能量的杂质离子射入半导体衬底中的掺杂技
电浆蚀刻 （半导体相关）
电浆蚀刻在干蚀刻(DryEtch)技术中，一般多采用电浆蚀刻(PlasmaEtc
薄膜沉积 （半导体相关）
薄膜沉积（ThinFilmDeposition）形成的过程中，不消耗芯片或底材的
气相沉积 （半导体相关）
气相沉积（VaporPhaseDeposition），一种薄膜沉积的方法，在气态
垂直层流 （半导体相关）
VLFVerticalLaminarFlow垂直层流，在流体的流动状态中，可分为
掺入杂质 （半导体相关）
为使组件运作，芯片必须掺以杂质（)Doping），一般常用的有：预置:在炉管内通