等向性蚀刻

（半导体相关）

等向性蚀刻在蚀刻反应中，除了纵向反应发生外﹒横向反应亦同时发生(见左图)，此种蚀刻即称之为等向性蚀刻（IsotropicEtching），一般化学湿蚀刻多发生此种现象。