等向性蚀刻
(半导体相关)
等向性蚀刻在蚀刻反应中,除了纵向反应发生外﹒横向反应亦同时发生(见左图),此种蚀刻即称之为等向性蚀刻(IsotropicEtching),一般化学湿蚀刻多发生此种现象。
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