干式氧化
(半导体相关)
DryOxidation干式氧化在通入的气体中只有氧气与载气,只有氧气与底材发生氧化反应。我们将这种氧化叫干式氧化。如我们的Gate-OX,这种方法生成的SiO2质量比较好,但生成速度比较慢。
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