干式氧化

DryOxidation干式氧化在通入的气体中只有氧气与载气，只有氧气与底材发生氧化反应。我们将这种氧化叫干式氧化。如我们的Gate-OX，这种方法生成的SiO2质量比较好，但生成速度比较慢。