干式氧化

（半导体相关）
DryOxidation干式氧化在通入的气体中只有氧气与载气，只有氧气与底材发生氧化反应。我们将这种氧化叫干式氧化。如我们的Gate-OX，这种方法生成的SiO2质量比较好，但生成速度比较慢。
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