刷洗机

（半导体相关）

1.在沉积或蚀刻制程之后常会有些微尘落在芯片表面，此种P/D可刷洗去除，避免对良率的伤害。2.依照膜的性质，及机台的特性不同，通常我们有下列5种不同刷洗方式:-去离子水冲洗-毛刷刷洗-高压水刷洗-毛刷加高压水刷洗-芯片双面刷洗