刷洗机
(半导体相关)
1.在沉积或蚀刻制程之后常会有些微尘落在芯片表面,此种P/D可刷洗去除,避免对良率的伤害。2.依照膜的性质,及机台的特性不同,通常我们有下列5种不同刷洗方式:-去离子水冲洗-毛刷刷洗-高压水刷洗-毛刷加高压水刷洗-芯片双面刷洗
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