蚀刻后检查

AEI即AfterEtchingInspection，在蚀刻制程光阻去除前和光阻去除后，分别对产品实施主检或抽样检查。AEI的目的有四：提高产品良率，避免不良品外流。达到品质的一致性和制程的重复性。显示制程能力的指标。防止异常扩大，节省成本通常AEI检查出来的不良品，非必要时很少做修改。因为除去氧化层或重长氧化层可能造成组件特性改变可靠性变差、缺点密度增加。生产成本增高，以及良率降低的缺点。