垂直层流

VLFVerticalLaminarFlow垂直层流，在流体的流动状态中，可分为层流(LaminarFlow)及紊流(TurbulentFlow)两种。界定值。一般流体流速较快者其流线(streamiline)分子易受干扰，且雷诺数大易形成紊流，(雷诺数，惯性力/粘滞力)。在无尘室芯片制造场所内，其气流为稳定的层流，如此可将人员、机台等所产生的微尘带离。若为紊流，则微尘将滞流不去。