溅镀

（化工）

在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜。溅镀，通常指的是磁控溅镀，属于高速低温溅镀法.