四乙基正硅酸盐
（半导体相关）
四乙基正硅酸盐，含有硅与碳、氢与氧的有机硅源，化学分子式是Si(OC2H5)4，其沸点较高，常压下约（169℃）。在CVD制程的应用上，TEOS在足够的温度下TEOS进行反应而产生二氧化硅
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