缺点密度

DefectDensity缺点密度'缺点密度'系指芯片单位面积上(如每平方公分，每平方英寸等)有多少'缺点数'之意，此缺点数一般可分两大类：A.可视性缺点B不可视性缺点。前者可藉由一般光学显微镜检查出来(如桥接、断线)后者则须藉助较精密电子仪器检验(如晶格缺陷)由于芯片制造过程甚为复杂漫长，芯片上缺点数愈少，产品良率品质必然愈佳，故'缺点密度'常被用来当做一个工厂制造的产品品质好坏的指标。