BOE
(半导体相关)
B.O.E.是HF与NH4F依不同比例混合而成。6:1BOE蚀刻即表示HF:NH4F=l:6的成份混合而成。HF为主要的蚀刻液,NH4F则做为缓冲剂使用。利用NH4F固定[H']的浓度,使之保持一定的蚀刻率。HF会侵蚀玻璃及任何硅石的物质,对皮肤有强烈的腐蚀性,不小心被溅到,应用大量冲洗。
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