集成电路用硅
(用于集成电路制造的硅抛光片与外廷片)
集成电路用硅,用于集成电路制造的硅抛光片与外廷片。随着IL的集成度提高,对硅材料的内在质量与几何尺寸要求愈来愈高,包括杂质含量、缺陷密度、友 0.i清洁度、儿何精度、硅片直径等。
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