集成电路用硅

（用于集成电路制造的硅抛光片与外廷片）

集成电路用硅，用于集成电路制造的硅抛光片与外廷片。随着IL的集成度提高，对硅材料的内在质量与几何尺寸要求愈来愈高，包括杂质含量、缺陷密度、友 0.i清洁度、儿何精度、硅片直径等。