微型抽真空泵

（凝聚态物理学）

微型真空泵，是指具备一进一出的抽气嘴、排气嘴各一个，并且在进口处能够持续形成真空或负压;排气嘴处形成微正压;工作介质主要为气体，体积小巧的一种仪器。