微型抽真空泵
(凝聚态物理学)
微型真空泵,是指具备一进一出的抽气嘴、排气嘴各一个,并且在进口处能够持续形成真空或负压;排气嘴处形成微正压;工作介质主要为气体,体积小巧的一种仪器。
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