空心阴极离子镀
(机械工程)
空心阴极离子镀(hollow cathode discharge deposition,HCD),机械工程名词,利用空心阴极发射的电子束使坩埚内镀膜材料蒸发并电离,在基片上的负偏压作用下,离子具有较大能量,沉积在基片表面上的一种镀膜方法。
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