傅氏转换红外线光谱分析仪

FTIR（傅氏转换红外线光谱分析仪）乃利用红外线光谱经傅利叶转换进而分析杂质浓度的光谱分析仪器。己发展成熟，可Routine应用者，计有:BPSG/PSG的含磷、含硼量预测。芯片的含氧、含碳量预测磊晶的厚度量测发展中需进一步Setup者有:.氮化硅中氢含量预测复晶硅中含氧量预测光阻特性分析FTIR为一极便利的分析仪器，STD的建立为整个量测的重点，由于其中多利用光学原理，芯片状况(i.e.晶背处理状况)对量测结果影响至巨