三氯氧化磷

一种用做N+扩散用的化合物。通常以N2为"载气"(CarrierGas)，带着POCl3和O2(氧气)一起进入高温炉管，然后产主下列反应：4POCl3+3O2→2P2O5+6Cl25P2O5+5Si→4P+5SiO2在反应过程中，磷沉淀于硅表面，同时硅表面亦形成氧化层。