磷硅玻璃

（半导体相关）

PSG磷硅玻璃是一种含磷的二氧化硅，我们现有制程中P的含量为4.25％。PSG与PESiN一起构成Passivation。作用：防止PESiN有Pinhold使水汽渗透进来。亦可以抵消PESiN的应力。加磷的主要目的是吸附杂质。