挡片

（半导体相关）

DummyWafer挡片对制程起一定辅助作用的硅片，区别于产品、控片，一般对其质量要求不是很高。由于炉管的两端温度不稳定，气体的流量不稳定，所以我们在Boat的两端放入不是产品的硅片，我们将这样的硅片叫挡片。离子植入若产品不足，则需补上非产品的硅片，即挡片。