氧化物半导体材料

氧化物半导体材料是由金属与氧形成的化合物半导体材料。氧化物半导体材料(oxide semiconductor)是由金属与氧形成的化合物半导体材料。它与元素半导体材料相比，结构上多为离子晶体，禁带宽度一般都较大，迁移率较小，化学性质也比较复杂，可因化学计量比的微小偏差，在晶体中造成施主和受主，而这种化学计量比的偏差对气氛和温度是敏感的。