异质衬底，两种不同半导体制成的衬底材料。衬底材料的选择主要取决于九个方面：（1） 结构特性好，外延材料与衬底的晶体结构相同或相近、晶胞参数失配度小、结晶性能好、缺陷密度小；（2） 界面特性好，有利于外延材料成核且黏附性强；（3） 化学稳定性好，在外延生长的温度和气氛中不容易分解和腐蚀；（4） 热学性能好，包括热导性好和热失配度小；（5） 导电性好，能制成上下结构；（6） 光学性能好，制作的器件所发出的光被衬底吸收小；（7） 力学性能好，器件容易加工，包括减薄、抛光和切割等；（8） 价格低廉；（9） 大尺寸，一般要求直径不小于50毫米。