激光诱导气相沉积法(LICVD)。是指利用反应气体对特定波长激光束的吸收而产生热解或化学反应，经过核生长形成超细粉末。整个过程实质上是一个热化学反应和晶粒成核与生长过程。LICVD法通常采用CO2激光器，加热速率快，高温驻留时间短，冷却迅速，因此可获得粒径<10nm 的均匀纳米粉体。利用反应气体对特定波长激光束的吸收而产生热解或化学反应，经过核生长形成超细粉末。整个过程实质上是一个热化学反应和晶粒成核与生长过程。LICVD法通常采用CO2激光器，加热速率快，高温驻留时间短，冷却迅速，因此可获得粒径<10nm 的均匀纳米粉体。同时，反应中心区域与反应器之间被原料气体隔离，反应污染小，可制得纯度高的纳米粉体。