真空泵的体积流率

真空泵的体积流率（volume flow rate of vacuum pump），机械工程名词，真空泵从抽空室所抽走气体的体积流率。本定义仅用于和真空室分开的单独泵。但实际上按惯例，在规定工作条件下，对给定气体，泵的体积流率为连接到泵上的标准试验罩流过的气流量与试验罩上规定位置所测得的平衡压力之比。