《电子工业专用设备》创刊于1971年，是由中国电子科技集团公司主管，中国电子科技集团公司第四十五研究所主办的学术期刊。据《电子工业专用设备》2020年第3期期刊内页显示，《电子工业专用设备》指导委员会有委员13人，编委会有编委11人，编辑部有执行编辑2人、美术编辑1人。据2020年8月11日中国知网显示，《电子工业专用设备》共出版文献5353篇、总被下载531190次、总被引11388次，（2019版）复合影响因子为0.191、（2019版）综合影响因子为0.080。据2020年8月11日万方数据知识服务平台显示，《电子工业专用设备》共载文3627篇、基金论文量为153篇、被引量为9954次、下载量为106087次，2018年影响因子为0.2。1971年，《半导体设备》创刊。