背散射分析

通过探测大角散射离子能谱来确定靶物质特性的分析方法。当具有一定能量的离子轰击靶物质时，入射离子会同靶核发生库仑散射。对于一定能量和质量的入射离子，散射离子的能量及其强度同靶核的质量数、含量和散射角有关。由于大角散射具有较好的质量分辨，所以在分析靶物质成分时，经常采用背散射(散射角在165°~170°间的大角散射)分析。特点背散射分析具有许多优点:快速、定量、无损，有时还能多元素同时分析。