探针显微镜测量法（probe microscope measurement technique），工学-光学工程-光学应用-光学测量-几何量测量-三维形貌测量，一种通过显微镜测量物体三维形貌的方法。20世纪80年代，国际商业机器公司（IBM）的两位科学家G.宾宁和H.罗雷尔基于量子隧穿原理发展了一种研究表面结构的新工具，称为扫描隧道显微镜（scanning tunneling microscope，STM）。这个发明很快就扩展成为有关仪器的一个家族，与扫描隧道显微镜一起归类于扫描探针显微镜（scanning probe microscope，SPM），其中最重要的是扫描隧道显微镜和原子力显微镜（atomic force microscope，AFM）。这些技术的发展对现代表面分析产生了重要影响，对纳米技术的发展起到了推动作用，在原子、分子水平上开创了一个科学与技术的新领域，其有关学科称为扫描探针显微学。扫描隧道显微镜系统一般包括显微镜核心、控制器、计算机、隔振台四部分。扫描隧道显微镜各成员仅在显微镜核心部分存在显著不同，此差异由其各自的工作机理决定。