微秒脉冲等离子体（microsecond plasma），工学-电气工程-﹝电工新技术﹞-放电等离子体-﹝等离子体驱动形式﹞-脉冲等离子体，采用微秒脉冲激励的等离子体。宽度以10-9秒来度量，极为短暂的脉冲。一般来说，电压上升越快，电子平均能量越高。微秒脉冲的上升沿和脉宽均在微秒级，因此可以产生高能量电子。由于脉冲持续时间短，与交流相比，微秒脉冲等离子体放电过程中温度较低，发热现象不严重，可以长时间运行。微秒脉冲激励等离子体放电形式包括介质阻挡放电、等离子体射流、滑动弧、火花放电等。微秒脉冲等离子体广泛应用于甲烷重整、挥发性有机化合物脱除、废水处理、生物医学等领域。