激光衍射测量法（laser diffraction measurement），工学-光学工程-光学应用-光学测量-几何量测量-孔径测量，利用激光通过几百纳米到几毫米的孔、屏、狭缝、细丝等障碍物发生衍射现象，借助衍射条纹的变化而实现相应参量测量的一种非接触式测量方法。激光衍射测量法通常根据夫琅和费衍射原理进行。可分为单缝夫琅和费衍射测量和圆孔夫琅和费衍射测量。①单缝衍射测量的基本公式为：(1)式中为单缝宽度；为激光波长；为单缝与接收屏的距离；为级暗条纹中心与中央零级条纹中心之间的距离。单缝衍射测量的原理是当激光束照射狭缝时，在接收屏形成明暗相间并垂直于缝宽方向排列的衍射条纹。已知激光波长，测出某级条纹的位置即可根据单缝衍射公式计算狭缝宽度。图1 夫琅和费衍射基本光路②圆孔衍射测量的基本公式为：(2)式中为圆孔直径；为激光波长；为圆孔后放置透镜的焦距；为衍射图样中心区域的最大的亮斑，又称艾里斑的半径。圆孔衍射测量的原理是当激光束照射圆孔时，在接收屏形成明暗相间的同心圆环。已知激光波长，测出艾里斑的半径即可根据圆孔衍射公式计算圆孔的半径。