X射线双晶衍射

X射线双晶衍射（X-ray double-crystal diffraction），工学-材料科学与工程-电子信息材料-半导体材料-半导体材料性能检测-[结构检测]，利用单色化、平行化的X射线对晶体进行结构分析的一种高精度测量技术。X射线源主要有两种：高压电子束激发的X射线源和同步辐射X射线源。二者均为多色光，其波长比紫外线还要短，且不带电，因而不可能利用一般的光学透镜或电磁透镜的聚焦方法改变光路，或以透镜滤光方法实现其单色化。根据晶体对X射线衍射的布拉格方程：式中为晶体晶面的间距；为衍射角；为自然数；为X射线波长。对于一个晶体，在一个特定的衍射角，将会出现一个特定波长的X射线束。如果我们对此束X射线配置适当的狭缝，就会实现X射线的单色化和平行化。以此射线入射到待测晶体上，就构成了一个双晶衍射系统。根据不同的光源和需要，可以设计出各种各样的双晶衍射系统，还可以设计出三晶、四晶、五晶等系统。经过单色化的X射线并不是完全单色的，不仅X射线的特征辐射本身存在一个本征宽度，而且还会有的谐波存在（强度很弱）。