全固态脉冲电源（solid state pulsed power source），工学-光学工程-光学应用-光刻技术-光刻机-光刻光源，利用固态半导体开关结合多级磁脉冲压缩开关的方法产生高压快脉冲的电源。因为采用固态的半导体开关和磁脉冲压缩开关，可以高重复频率运行，且没有明显寿命限制。高压气体开关如闸流管的典型寿命只有109脉冲，而半导体开关和磁脉冲压缩开关工作脉冲后，开关性能几乎没有劣化。全固态脉冲电源还能避免基于闸流管器件的预热启动及其老化过程中的自导通等缺点，能提高激光输出的稳定性和可靠性。全固态脉冲电源广泛应用于气体激光器，也可用于高压净化设备、加速器系统、雷达系统等。全固态脉冲电源一般采用固态半导体开关产生低压宽脉冲，再利用脉冲变压器将低压宽脉冲转换为高压宽脉冲，然后使用一级或多级磁脉冲压缩开关形成高压窄脉冲输出。全固态脉冲电源主要器件包括半导体开关、磁脉压缩开关、脉冲变压器、电容器，其他部分电感器、二极管、电阻器作为辅助器件。