交流等离子体

交流等离子体（alternative current plasma），工学-电气工程-﹝电工新技术﹞-放电等离子体-﹝等离子体驱动形式﹞-交流等离子体，在幅值大小和方向周期性变化的电场中产生的等离子体。常见的交流等离子体实验研究和工程应用的基础是体内丰富的电子、原子、离子和活性粒子。交流等离子体的产生包括电源、工作气体和反应器3个部分。①电源，交流等离子体按电源的工作频率可以分为工频交流等离子体和高频交流等离子体。其中工频交流等离子体放电频率与市电频率（50赫兹或60赫兹）相同，高频交流等离子体放电频率一般大于1000赫兹。②工作气体，交流等离子体的工作气体包括稀有气体（氦气、氖气和氩气等）、氧气、氮气、甲烷等纯气体以及它们的混合气体（如空气）。③反应器，交流等离子体反应器结构上包括与电源高压端连接的电极、可能存在的阻挡介质以及配套的冷却系统。交流等离子体按自身的特性可以分为交流辉光等离子体、交流电晕等离子体、交流电弧等离子体和交流介质阻挡放电等离子体。