辐射增强扩散

辐射增强扩散（radiation enhanced diffusion），工学-核技术-核技术基础，因载能粒子辐射在靶中产生一定的缺陷，使靶中杂质或间隙原子/空位的扩散大大增强的现象。辐射增强扩散是一种反常扩散效应，表现形式为：①靶中掺杂离子的分布与用LSS理论预言的高斯型分布有较大的偏离，如分布曲线的展宽明显加大，且出现一个较长的指数型拖尾；②掺杂离子或间隙原子/空位的扩散系数显著增大，可有几个数量级的提高。根据辐射增强扩散的形成方式，可将其分为两种类型：①质子（或轻离子）增强扩散；②掺杂离子增强扩散。辐射增强扩散按其扩散机制又可以分为空位扩散和间隙原子扩散两类。