加速器质谱（accelerator mass spectrometry；AMS），工学-核技术-核分析技术，利用粒子加速器提高离子能量的质谱装置与方法。常规质谱仪中离子的能量一般在几十千电子伏，而AMS利用加速器将离子的能量提高到数百千电子伏至数百兆电子伏，从而使检测同位素丰度低至10-16～10-12的14C、10Be、26Al、36Cl、41Ca、129I、236U等寿命在103～108年的长寿命放射性核素成为可能。对于短寿命放射性核素，通常可用 衰变计数法测量；寿命超过109年的长寿命放射性核素在自然界中的丰度相对较高，一般可用常规质谱计测量。加速器质谱装置主要由离子源、低能注入系统、加速器、高能分析系统和探测器组成。加速器以串列静电加速器为主，亦有使用单端静电加速器、回旋加速器和射频直线加速器的。AMS的核心技术是抑制本底和减小分馏效应，为了提高样品的利用效率及得到可靠的测量结果，样品制备技术和测量方法的设计也是十分重要的。由于加速器质谱最主要的应用是测量样品中的14C，用于14C测量的小型加速器质谱装置得到快速发展。