多层膜元件

多层膜元件（multilayer film element），工学-光学工程-光学传输-紫外光学-紫外-极紫外光学系统检测与定标-紫外-极紫外单元技术-光学元件，多层膜光学元件是在超光滑表面上交替镀制折射率不同的材料，构成的在特定的波段具有较高的反射率的光学元件。典型的多层膜采用原子序数高低交替，实现不同材料中的电子密度最大差异。在紫外波段不需要使用多层膜，通常铝膜加MgF2保护层即可以得到80%以上的反射率，满足大多数工程应用的需求。在远紫外-极紫外波段，单一材料的反射率和透过率均很低，无法满足实际光学系统应用，因此，需要镀制该波段多层膜光学元件。这种膜层可以在中等光谱带宽内，获得高的正入射反射率。镀制这种膜层的材料通常为非晶态或者多晶态，光束在多层膜传播遵循布拉格定律。对于周期厚度的d的双层周期的多层膜，单层材料厚度为，为工作波长。多层膜设计需要根据使用材料、光谱带宽和反射率要求进行。在设计极紫外波段宽角度或者宽波长反射镜时，通常使用的设计方法包括膜厚渐变法、线性膜堆法、解析加优化方法。