类金刚石膜(diamond-like carbon),工学-材料科学与工程-金属-[薄膜材料],由金刚石结构的sp3杂化碳原子和石墨结构的sp2杂化碳原子相互混杂的三维网络构成的类金刚石材料。通常为非晶态或非晶-纳米晶复合结构。涂层中由sp3杂化碳原子形成极强的σ键,决定了其具有优异的性能,如硬度高、弹性模量大、摩擦系数低、耐磨性好、热导率高、热膨胀系数小、电阻率极高、化学稳定性好、在红外和微波频段透过性高等;而sp2杂化碳原子含有π键,以团簇的形式镶嵌在由σ键组成的基体内,影响薄膜的上述性能以及调控薄膜的带隙宽度等半导体性能,使得薄膜能够根据要求调制性能。类金刚石膜具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性好、热传导率高及化学惰性强等机械和化学特性,具有很大的研究价值和广泛的应用前景。类金刚石膜的应用研究已经在切削工具、机械、光学组件、计算机和生物医学等领域取得进展。类金刚石膜的制备方法有为物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和液相沉积。