离子散射谱法

离子散射谱法（ion scattering spectroscopy，ISS），化学名词，超高真空条件下，利用稀有气体离子(、、)与样品表面的散射作用，在一定的散射角度方向上测量被散射离子的能量分布以获得样品表面元素组成的分析方法。