X射线抗蚀剂

X射线抗蚀剂，化学化工术语。采用软X射线(波长0.4一 snm)作为曝光源的抗蚀剂J由于X射线波长较紫外波长短 两个数量级，儿乎没有衍射的干扰，l衍且因其能量比电子束小 得多，可以获得高分辨率，X射线对尘埃的透过性好，曝光工 艺的缺陷率就低。所有的电子束抗蚀fflJ均可作X射线抗 蚀剂。