多通道石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows?窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精确的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带一个档板。用户可以自己选择0.1?/s?还是0.01?/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。多通道石英晶体监测仪的特点 1、RS-23接口, USB 或以太网可选2、双通道(标准型),四通道可选3、高精度: 0.03Hz at 10个读数/s4、沉积速率/膜层厚度模拟输出 多通道石英晶体监测仪的参数 QCM传感器输入:标准型: 2;路 可选: 4路频率范围 :1-10 MHz频率分辨率:标准型: ± 0.1Hz@ 4 readings/sec、 可选: ± 0.0Hz @ 10 readings/sec频率稳定性:在 0 to 50 C,总计± ppm可选择的测量周期:0.10 to sec (每级增量0.05 sec)测量选择 :to 20 readings存储膜系:99模拟输出:2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚数字输入/输出: 路数字输入, 4路继电输出数字接口:标准型: RS-23、 可选: USB or 以太网电源:0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 WCE 标识:Class equipment、 73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD安装支架: 1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 89 x 21x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")重量: 2.7 Kg