电子探针显微分析仪

电子探针显微分析仪又称电子探针，是较为理想的一种微区化学成分分析手段。根据高能电子与固体物质相互作用的原理，利用电子枪发射的高能量电子流通过磁透镜聚集成直径约0.1~1μm的电子束(电子探针)轰击样品表面，使样品中被打击的微小区域(简称微区)内所含元素的原子激发而产生特征X射线谱。由于不同元素的原子结构各异，激发产生的X射线波长亦不相同。以此来测量各种元素所产生的X射线的波长和强度，来对微小体积中所含元素进行定性和定量分析。用于高分子材料中微量微区元素和杂质的浓度及其分布，添加成分的测定等。