四探针法

四探针法（four-probe measurement），材料科学技术名词，将等间隔直线排列的四支金属探针，垂直压在任意形状半导体样品表面，使电流从两支外探针间通过，测量两支内探针间的电位差，依据一定的公式和修正方法可以求出半导体的电阻率的电学测量技术。该方法也可用于测量导电薄膜的方块电阻。