压电阀是利用功能陶瓷片在电压作用下产生弯曲变形原理制成的一种两位式（或比例式）控制阀。控制压电阀动作只需提供足够的电压，电功耗几乎为零。 压电阀在E/P转换单元中起先导阀的作用，每个E/P转换单元同时应用两个压电阀，对于压电阀由于导压（即先导腔室中的气压力）太小，不具有产生气流的能力，所以必须增压。增压是在伺服部分完成，它的作用犹如气动继电器。伺服部分在先导腔室一侧有一个面积较大膜片，在输出及排气腔室一侧有一个面积较小的面。当导压达到120kPa时，施加在先导腔室一侧膜片上的力，大于作用在输出及排气腔室另一侧面上的力，这将迫使移动阀心与排气阀心移动，当两侧面的力达到平衡时，这样作用在输出及排气腔室一侧面上的气压将大于导压，从而达到增压的目的。其动作原理：压电阀的初始状态（不通电），功能陶瓷片作用在喷嘴口1上，这时，口2与喷嘴口3与先导腔连通，形成为一个整体。当压电阀接通电源时，功能陶瓷片变形向上翘，把喷嘴口3压住，使得口2与喷嘴口1连通。