EPID系统由射线探测和射线信号的计算机处理两部分组成。不同系统的差别主要表现在前一个部分，后一个部分对所有系统均是相同或相似的。为解决布野和患者摆位的实时验证问题，早在1958年Andrews就设计了第一个电子射野影像装置，用于监测2MVX线治疗，1962年Benner也设计了一个用于监测30MVX线治疗。尽管当时的图像对比度很差，但这些早期研究为放射治疗的实时验证开辟了道路。其后在荧光剂设计和摄像机技术方面取得的进步大大改进了荧光型EPID的图像质量。自80年代，固体探测器和液体探测器开始用于EPID的设计。