分光法多自由度测量（measurement of multiple degree of freedom with spectrometry method），工学-光学工程-光学应用-光学测量-几何量测量-绝对法测量齿距误差，将一束光分为多束，利用每束光所携带的自由度信息进行测量的方法。可采用分光镜或全息光栅进行分光。图1 机床五自由度偏差光学测量系统示意图测量机床五自由度偏差的光学分光测量系统如图1所示，该系统分为可动部分和固定部分。其中可动部分包括三个平面镜1、2和3，一个角锥棱镜4，其放置于机床的工作台上随其在导轨上移动。固定部分由激光器8、两个分光镜6、平面反射镜5和位置探测器PSD7、PSD9组成，其放置在机床的床身上，提供自由度测量的基准。角锥棱镜具有对光束方向（小角度内）不敏感的特性，因此从角锥棱镜4反射回的光束被PSD接收，所得到的激光点位置信息可以反映水平和垂直两个方向上的位置误差。平面反射镜仅对光束的偏摆和俯仰敏感，因此从平面反射镜1反射回来的光束被PSD接收，所得的激光点位置信息反映俯仰角和方位角的误差。