微束X射线衍射谱仪（micro X-ray diffraction spectrometer），工学-核技术-〔离子束技术〕-微束X射线衍射谱仪，可以对样品进行微区X射线衍射分析的设备。微束X射线衍射谱仪是一种特殊的X射线衍射设备。它主要由X射线光源、X射线探测器、样品台、转角设施和X射线约束器件等硬件组成，同时还配有调控软件和分析软件。在微束X射线衍射谱仪中，处在X射线光源和样品台之间的X射线约束器件可以将X射线光源发出的X射线约束或者会聚为符合微束衍射分析要求的X射线光束。利用微束X射线衍射谱仪可以对较大样品进行扫描衍射分析，同时也便于对微小样品进行衍射分析。上述处在X射线光源和样品台之间的X射线约束器件可以是针孔准直器件，但针孔准直器件对X射线没有会聚作用，导致X射线光源不能被充分利用，为了充分利用X射线光源进行微束X射线衍射分析，通常采用具有会聚X射线能力的光学器件，譬如毛细管X射线光学器件和弯晶聚焦器件等。