生物微/纳机电系统（biological micronano-electro-mechanical systems;BioMEMS BioNEMS），工学-工程热物理及动力工程-工程热物理-传热传质学-生物传热，利用微加工技术制造的特征尺寸在微米/纳米级、应用于生物领域的微型器件。生物微/纳机电系统与常见的芯片实验室及微型全分析系统在概念上既有重叠又有差异（见图）。芯片实验室是将实验室流程微型化并在微流控芯片上实现的功能器件，能够独立或在其他辅助设备的支持下完成特定功能，并不一定应用于生物领域。微型全分析系统与芯片实验室类似，但多用于化学分析检测。而生物微/纳机电系统是专用于生物领域的微型器件，不仅包括生物传感器和功能器件，还包括用于生物医学的微型装置（如可植入微电极等）。生物微/纳机电系统与芯片实验室及微型全分析系统的异同生物微/纳机电系统是材料、生物医学、电子工程、机械工程、化学工程等多学科交叉的前沿领域。