甲基三氯硅烷

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甲基三氯硅烷(methyltrichlorosilane;methylsilicochloroform，缩写为MTS)甲基三氯硅烷别名甲基硅仿;三氯甲基硅烷分子式CH3Cl3Si;CH3SiCl3;甲基三氯硅烷外观与性状是无色液体，具有刺鼻恶臭，易潮解。