飞行器微作动系统(aircraft micro-actuation system),工学-航空宇航科学与技术-航空-〔航空机电系统〕-飞机作动系统,微型飞行器上,行程尺寸在微米—纳米量级的可控制、可运动微机电作动装置和相关作动技术。飞行器微作动系统主要指应用微细制造技术将微电机、微作动器、微传感器、微电路等微型器件高度集成起来,形成高性能的伺服微机电作动系统。用于搜集、处理和发送信息,根据所获得的信息自主或在外部指令下进行相应的运动。20世纪90年代以来,微作动技术得到迅猛发展,在飞行器上的应用日益增多,主要是在包括控制、测量在内的微型飞行器的设计与制造等方面,具体体现在微型传感器和微型作动器的使用上。微型传感器根据测量对象(剪应力、压力和温度等)不同,主要有微机械学压力传感器阵列、弹性MEMS剪应力阵列、M³基片和压阻式声/压传感器等。微型作动器根据作动原理不同,主要有静电型作动器、电磁型作动器、热动力型作动器、微喷管阵列等。微型传感器和微型作动器可以通过集成,形成大型阵列,可实现流动控制,适应轻质量和非定常气动柔性耦合结构,产生低雷诺数效应,克服微型飞机飞行速度较低问题。